言語
龍文安
概観
著作: | 14 作品に 14 出版物中に 1 言語 |
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タイトル
高敏搆光罩用電子束阻劑系統之研究 =studies on the highly sensitive electron-beam resist system for the photomask
…で:
交通大學應用化學系; 龍文安
(マイクロフィルム)
, [著]
新型相移光罩之模擬與製備:石英蝕刻之半透緣邊型=simulation and fabrication of a new phase shifting mask:quartz-etchhalfton
…で:
交通大學應用化學研究所; 龍文安
(マイクロフィルム)
積體電路電漿乾蝕刻研究:電漿清除=studies on the plasma dry etching in ic fabrication(iii):plasma stripping
…で:
交通大學應用化學研究所; 龍文安
(マイクロフィルム)
, [著]
移轉0.35微米線幅用新型相轉移光罩之模與製備=simulation and fabrication of a new phase shifting mask for 0.35um pattern...
…で:
交通大學應用化學系; 龍文安
(マイクロフィルム)
, [著]
積體電路電漿乾蝕刻研究(二):表面強化=studies on the plasma dry etching in vlsi fabrication(ii):surface enhancement
…で:
交通大學應用化學研究所; 龍文安
(マイクロフィルム)
, [著]
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