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應用光學鄰近效應修正與實驗設計法於製程寬容度最適化
~
曾秀平
應用光學鄰近效應修正與實驗設計法於製程寬容度最適化
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
曾秀平
其他作者:
龍文安
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
129頁 : 11x15公分;
標題:
應用化學 -
附註:
MOE86-0007-8525535
應用光學鄰近效應修正與實驗設計法於製程寬容度最適化
曾秀平
應用光學鄰近效應修正與實驗設計法於製程寬容度最適化
/ 曾秀平 撰 ; 龍文安 指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 129頁 ; 11x15公分.
MOE86-0007-8525535.
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應用光學鄰近效應修正與實驗設計法於製程寬容度最適化
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20000525
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
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條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約狀態
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833460000000102
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 460 8021 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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833460000000103
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 460 8021 V2
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