龍文安

概要

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书目信息

半導體微影技術 by: 龍文安 (书目-语言数据,印刷品) , [著]

鋁氧氮嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬 by: 莊亨立; 蘇炳聖; 龍文安 ([NT 13] Microfilm) , [指導]

嵌附減光式相移光罩吸光相移層研製 by: 國立交通大學應用化學系; 龍文安 ([NT 13] Microfilm) , [撰]

半導體奈米技術 = Nanometer technologies for semiconductors by: 龍文安 (书目-语言数据,印刷品) , [著]

高敏搆光罩用電子束阻劑系統之研究 =studies on the highly sensitive electron-beam resist system for the photomask by: 交通大學應用化學系; 龍文安 ([NT 13] Microfilm) , [著]

應用光學鄰近效應修正與實驗設計法於製程寬容度最適化 by: 曾秀平; 龍文安 ([NT 13] Microfilm) , [指導]

新型相移光罩之模擬與製備:石英蝕刻之半透緣邊型=simulation and fabrication of a new phase shifting mask:quartz-etchhalfton by: 交通大學應用化學研究所; 龍文安 ([NT 13] Microfilm)

積體電路電漿乾蝕刻研究:電漿清除=studies on the plasma dry etching in ic fabrication(iii):plasma stripping by: 交通大學應用化學研究所; 龍文安 ([NT 13] Microfilm) , [著]

嵌附調細式相移光罩研製 by: 國立交通大學應用化學研究所; 龍文安 ([NT 13] Microfilm) , [撰]

移轉0.35微米線幅用新型相轉移光罩之模與製備=simulation and fabrication of a new phase shifting mask for 0.35um pattern... by: 交通大學應用化學系; 龍文安 ([NT 13] Microfilm) , [著]

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