高敏搆光罩用電子束阻劑系統之研究 =studies on the hig...
交通大學應用化學系

 

  • 高敏搆光罩用電子束阻劑系統之研究 =studies on the highly sensitive electron-beam resist system for the photomask
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    其他作者: 龍文安
    團體作者: 交通大學應用化學系
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    出版年: 1993
    面頁冊數: 14頁 : 11x15公分;
    附註: NSC82-0405-E009-316
館藏
  • 1 筆 • 頁數 1 •
 
804340000000469 三樓視聽資料區 3.不外借 微縮資料(microform) MF 340 XXXX 1.一般(Normal) 在架 0
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