有機多矽烷及環碳矽烷之化學氣相沈積碳化矽薄膜=cvd of sic th...
國立交通大學應用化學研究所

 

  • 有機多矽烷及環碳矽烷之化學氣相沈積碳化矽薄膜=cvd of sic thin films from organopolysilanes and carbacyolic silanes
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    其他作者: 裘性天
    團體作者: 國立交通大學應用化學研究所
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    出版年: 1991
    面頁冊數: 28頁 : 11x15公分;
    附註: NSC80-0208-M009-027
館藏
  • 1 筆 • 頁數 1 •
 
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