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裘性天
概要
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書目資訊
有機多矽烷及環碳矽烷之化學氣相沈積碳化矽薄膜=cvd of sic thin films from organopolysilanes and carbacyolic silanes
by:
國立交通大學應用化學研究所; 裘性天
(微縮資料)
, [著]
主題