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裘性天
概要
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书目信息
有機多矽烷及環碳矽烷之化學氣相沈積碳化矽薄膜=cvd of sic thin films from organopolysilanes and carbacyolic silanes
by:
國立交通大學應用化學研究所; 裘性天
([NT 13] Microfilm)
, [著]
主题