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以反應性濺鍍鍍法製作tao薄膜及其在超大型積體電路之應用
~
交通大學材料所
以反應性濺鍍鍍法製作tao薄膜及其在超大型積體電路之應用
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
其他作者:
張秉衡
團體作者:
交通大學材料所
出版地:
台北市
出版者:
科學技術資料中心;
出版年:
1991
面頁冊數:
53頁 : 11x15公分;
附註:
NSC80-0404-E009-002
以反應性濺鍍鍍法製作tao薄膜及其在超大型積體電路之應用
交通大學材料所
以反應性濺鍍鍍法製作tao薄膜及其在超大型積體電路之應用
/ 交通大學材料所 ; 張秉衡 著 - 台北市 : 科學技術資料中心, 1991. - 53頁 ; 11x15公分.
NSC80-0404-E009-002.
張秉衡
以反應性濺鍍鍍法製作tao薄膜及其在超大型積體電路之應用
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大葉大學
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19960704
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全部
三樓視聽資料區
館藏
1 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約狀態
備註欄
附件
804440300000002
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440.3 XXXX
1.一般(Normal)
在架
0
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