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交通大學材料所
概要
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書目資訊
去電漿輔助化學氣態沉積法合成氮化矽薄膜做砷化錠件鈍化的研究=passivaiton of gaas fet's using pecvd silicon nitride film
by:
交通大學材料所; 張翼
(微縮資料)