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電漿輔助化學氣相沉積非晶矽膜再結晶後之電性研究=the electric...
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清華大學材料科學工程研究所
電漿輔助化學氣相沉積非晶矽膜再結晶後之電性研究=the electrical characterization of thermally annealed silicon films prepa
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
甘炯耀
其他團體作者:
清華大學材料科學工程研究所
出版地:
台北市
出版者:
科學技術資料中心;
面頁冊數:
67頁 : 11x15公分;
附註:
NSC84-2215-E007-014
電漿輔助化學氣相沉積非晶矽膜再結晶後之電性研究=the electrical characterization of thermally annealed silicon films prepa
甘炯耀
電漿輔助化學氣相沉積非晶矽膜再結晶後之電性研究=the electrical characterization of thermally annealed silicon films prepa
/ 甘炯耀 ; 清華大學材料科學工程研究所 - 台北市 : 科學技術資料中心 - 67頁 ; 11x15公分.
NSC84-2215-E007-014.
電漿輔助化學氣相沉積非晶矽膜再結晶後之電性研究=the electrical characterization of thermally annealed silicon films prepa
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19991231
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三樓視聽資料區
館藏
1 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約狀態
備註欄
附件
804348600000007
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
MF 348.6 4477
1.一般(Normal)
在架
0
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