利用無參雜非晶矽/高參雜複晶矽堆疊式結構改善矽化鎢品質及mos元件氧化層...
成功大學電機工程研究所

 

  • 利用無參雜非晶矽/高參雜複晶矽堆疊式結構改善矽化鎢品質及mos元件氧化層之研究=to use undoped-a-si/heavy doped-polysilicon u
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    作者: 方炎坤
    其他團體作者: 成功大學電機工程研究所
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    面頁冊數: 14頁 : 11x15公分;
    附註: NSC84-2215-E006-003
館藏
  • 1 筆 • 頁數 1 •
 
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