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利用電弧蒸著法研究高機能性硬質薄膜之製作與評價=prepation ...

交大材料科學工程研究所

利用電弧蒸著法研究高機能性硬質薄膜之製作與評價=prepation and evaluation of functional solid hard thin films by arc ion

利用電弧蒸著法研究高機能性硬質薄膜之製作與評價=prepation and evaluation of functional solid hard thin films by arc ion
陳家富

利用電弧蒸著法研究高機能性硬質薄膜之製作與評價=prepation and evaluation of functional solid hard thin films by arc ion / 陳家富 ; 交大材料科學工程研究所 - 台北市 : 科學技術資料中心 - 28頁 ; 11x15公分.
NSC84-2216-E009-019.
工程材料

利用電弧蒸著法研究高機能性硬質薄膜之製作與評價=prepation and evaluation of functional solid hard thin films by arc ion
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