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步進投影式對準機研發--子計畫三:次微米晶片製造之步進定位技術發展=de... ~ 台灣科技大學機械工程技術系

 

• 步進投影式對準機研發--子計畫三:次微米晶片製造之步進定位技術發展=development of stepper wafer stage positioning technolog

• 紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
  作者:	鄭正元
  其他團體作者:	台灣科技大學機械工程技術系
  出版地:	台北市
  出版者:	科學技術資料中心;
  面頁冊數:	55頁 : 11x15公分;
  附註:	NSC852221E011010

• 步進投影式對準機研發--子計畫三:次微米晶片製造之步進定位技術發展=development of stepper wafer stage positioning technolog
• 鄭正元
  
  步進投影式對準機研發--子計畫三:次微米晶片製造之步進定位技術發展=development of stepper wafer stage positioning technolog / 鄭正元 ; 台灣科技大學機械工程技術系 - 台北市 : 科學技術資料中心 - 55頁 ; 11x15公分.
  NSC852221E011010.

• 步進投影式對準機研發--子計畫三:次微米晶片製造之步進定位技術發展=development of stepper wafer stage positioning technolog
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條碼號	典藏地名稱	館藏流通類別	資料類型	索書號	使用類型	借閱狀態	預約狀態	備註欄	附件
804446190000039	三樓視聽資料區	3.不外借	微縮資料(microform)	MF 446.19 8742	1.一般(Normal)	在架	0

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