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步進投影式對準機研發--總計畫及子計畫一:覆蓋精度分析及模式發展研究=a... ~ 台灣科技大學機械工程技術系

 

• 步進投影式對準機研發--總計畫及子計畫一:覆蓋精度分析及模式發展研究=a study on overlay accuracy analysis and model develop

• 紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
  作者:	林榮慶
  其他團體作者:	台灣科技大學機械工程技術系
  出版地:	台北市
  出版者:	科學技術資料中心;
  面頁冊數:	78頁 : 11x15公分;
  附註:	NSC852221E011008

• 步進投影式對準機研發--總計畫及子計畫一:覆蓋精度分析及模式發展研究=a study on overlay accuracy analysis and model develop
• 林榮慶
  
  步進投影式對準機研發--總計畫及子計畫一:覆蓋精度分析及模式發展研究=a study on overlay accuracy analysis and model develop / 林榮慶 ; 台灣科技大學機械工程技術系 - 台北市 : 科學技術資料中心 - 78頁 ; 11x15公分.
  NSC852221E011008.

• 步進投影式對準機研發--總計畫及子計畫一:覆蓋精度分析及模式發展研究=a study on overlay accuracy analysis and model develop
• LDR:00486nhm 2200133 450 001 88484
  009 8811372
  100 $a  20100607 0chiy0900 e
  101 $a  chi
  102 $a  tw
  200 1 $a  步進投影式對準機研發--總計畫及子計畫一:覆蓋精度分析及模式發展研究=a study on overlay accuracy analysis and model develop $f  林榮慶 $g  台灣科技大學機械工程技術系
  210 $a  台北市 $c  科學技術資料中心
  215 $a  78頁 $d  11x15公分
  300 $a  NSC852221E011008
  700 $a  林榮慶 $3  27595
  712 $a  台灣科技大學機械工程技術系 $3  78968
  801 1 $a  TW $b  大葉大學 $c  19991115
  

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條碼號	典藏地名稱	館藏流通類別	資料類型	索書號	使用類型	借閱狀態	預約狀態	備註欄	附件
804446190000038	三樓視聽資料區	3.不外借	微縮資料(microform)	MF 446.19 4499	1.一般(Normal)	在架	0

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