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以深蝕光刻術製造聚焦環-子計劃二:聚焦環製程優假化及特性分析=proce... ~ 台灣大學應用力學研究所

 

• 以深蝕光刻術製造聚焦環-子計劃二:聚焦環製程優假化及特性分析=process optimization and characerization for fresnel zone pla

• 紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
  作者:	林立偉
  其他團體作者:	台灣大學應用力學研究所
  出版地:	台北市
  出版者:	科學技術資料中心;
  面頁冊數:	27頁 : 11x15公分;
  附註:	NSC852215E002007

• 以深蝕光刻術製造聚焦環-子計劃二:聚焦環製程優假化及特性分析=process optimization and characerization for fresnel zone pla
• 林立偉
  
  以深蝕光刻術製造聚焦環-子計劃二:聚焦環製程優假化及特性分析=process optimization and characerization for fresnel zone pla / 林立偉 ; 台灣大學應用力學研究所 - 台北市 : 科學技術資料中心 - 27頁 ; 11x15公分.
  NSC852215E002007.

• 以深蝕光刻術製造聚焦環-子計劃二:聚焦環製程優假化及特性分析=process optimization and characerization for fresnel zone pla
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804440120000002	三樓視聽資料區	3.不外借	微縮資料(microform)	MF 440.12 4499	1.一般(Normal)	在架	0

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