單晶cvd薄膜和融化成長法製程中之不穩定熱流與使其穩定之研究(i)-子計...
中正理工學院航空工程學系

 

  • 單晶cvd薄膜和融化成長法製程中之不穩定熱流與使其穩定之研究(i)-子計劃三:薄膜單晶成長之垂直=experimental study of flow and
  • レコード種別: マイクロフィルム : モノグラフ
    著者: 宋齊有
    副次的な著作責任 : 中正理工學院航空工程學系
    出版地: 台北市
    出版された: 科學技術資料中心;
    記述: 40頁 : 11x15公分;
    注記: NSC852212E014017
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