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同步輻射x光光刻術發展計畫-子計畫一:光束線及無塵室建造計畫心籌建處

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行政院同步輻射研究中心籌建處

同步輻射x光光刻術發展計畫-子計畫一:光束線及無塵室建造計畫心籌建處

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
其他作者:	陳俊榮
團體作者:	行政院同步輻射研究中心籌建處
出版地:	台北市
出版者:	科學技術資料中心;
出版年:	1996
面頁冊數:	53頁 : 11x15公分;
附註:	NSC83-0510-P213-003

同步輻射x光光刻術發展計畫-子計畫一:光束線及無塵室建造計畫心籌建處
行政院同步輻射研究中心籌建處

同步輻射x光光刻術發展計畫-子計畫一:光束線及無塵室建造計畫心籌建處 / 行政院同步輻射研究中心籌建處 ; 陳俊榮 - 台北市 : 科學技術資料中心, 1996. - 53頁 ; 11x15公分.
NSC83-0510-P213-003.

陳俊榮

同步輻射x光光刻術發展計畫-子計畫一:光束線及無塵室建造計畫心籌建處
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804448600000406

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448.6 7529

1.一般(Normal)

在架

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