以活性離子侵法做gaas閘侵及孔洞侵製程之研究=development ...
交通大學材料科學工程研究所

 

  • 以活性離子侵法做gaas閘侵及孔洞侵製程之研究=development of gaas gate recess and via hole etch process using reactive ...
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    其他作者: 張翼
    團體作者: 交通大學材料科學工程研究所
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    出版年: 1993
    面頁冊數: 48頁 : 11x15公分;
    附註: NSC82-0404-E009-258
館藏
  • 1 筆 • 頁數 1 •
 
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