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用於微感測和趨動元件表面和體內微刻技微=buld and surface...

清華大學電機工程研究所

用於微感測和趨動元件表面和體內微刻技微=buld and surface micromachining for microsensors and microactractors

用於微感測和趨動元件表面和體內微刻技微=buld and surface micromachining for microsensors and microactractors
清華大學電機工程研究所

用於微感測和趨動元件表面和體內微刻技微=buld and surface micromachining for microsensors and microactractors / 清華大學電機工程研究所 ; 黃瑞星著 - 台北市 : 科學技術資料中心, 1993. - 41頁 ; 11x15公分.
NSC82-0404-E007-184.

黃瑞星

用於微感測和趨動元件表面和體內微刻技微=buld and surface micromachining for microsensors and microactractors
LDR:00491nhm 2200133 450 001 67869
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101 $a chi
102 $a tw
200 1 $a 用於微感測和趨動元件表面和體內微刻技微=buld and surface micromachining for microsensors and microactractors $f 清華大學電機工程研究所 $g 黃瑞星著 $g 葉鳳生著
210 $a 台北市 $c 科學技術資料中心 $d 1993
215 $a 41頁 $d 11x15公分
300 $a NSC82-0404-E007-184
702 $a 黃瑞星 $4 著 $3 64706
702 $a 葉鳳生 $4 著 $3 60345
710 $a 清華大學電機工程研究所 $3 61930
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 19960903