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低溫矽晶表面清潔及電漿輔助化學相沈積矽磊晶之研究=the study o...
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清華大學材料科學工程中心

 

  • 低溫矽晶表面清潔及電漿輔助化學相沈積矽磊晶之研究=the study of low temperature si surface cleaning and cilicaon...
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    其他作者: 游萃蓉
    團體作者: 清華大學材料科學工程中心
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    出版年: 1993
    面頁冊數: 443頁 : 11x15公分;
    附註: NSC82-0404-E007-183
館藏
  • 5 筆 • 頁數 1 •
 
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