鈍薄氧氮閘極介電質之電性-以快速加熱在n20製成=electrical ...
清華大學電機工程研究所

 

  • 鈍薄氧氮閘極介電質之電性-以快速加熱在n20製成=electrical characteristic of ultrathin wxynitride gate dielectric ...
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    其他作者: 葉鳳生
    團體作者: 清華大學電機工程研究所
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    出版年: 1992
    面頁冊數: 68頁 : 11x15公分;
    附註: NSC81-0404-E007-107
館藏
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