矽單晶浮域製程之流場壓力研究=flow-induced pressure...
李雄略

 

  • 矽單晶浮域製程之流場壓力研究=flow-induced pressure in floating zone process of silicon single crystal growth
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    作者: 李雄略
    其他團體作者: 清華大學動力機械工程研究所
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    出版年: 1992
    面頁冊數: 86頁 : 11x15公分;
    附註: NSC81-0401-E007-002
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