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多層結構與低能量離子植入矽半導體樣品的二次離子質譜研究=sims res...

凌永健

多層結構與低能量離子植入矽半導體樣品的二次離子質譜研究=sims research on multi-structural and low energy implanted si

多層結構與低能量離子植入矽半導體樣品的二次離子質譜研究=sims research on multi-structural and low energy implanted si
凌永健

多層結構與低能量離子植入矽半導體樣品的二次離子質譜研究=sims research on multi-structural and low energy implanted si / 凌永健著 ; 清華大學化學研究所 - 台北市 : 科學技術資料中心, 1994. - 108頁 ; 11x15公分.
NSC83-0404-E007-006.

多層結構與低能量離子植入矽半導體樣品的二次離子質譜研究=sims research on multi-structural and low energy implanted si
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