vlsi用淺接面製程研究與二次離子質譜術發展=fabrication o...
凌永健

 

  • vlsi用淺接面製程研究與二次離子質譜術發展=fabrication of shallow junctions and development of sims characteriaztion ie...
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    作者: 凌永健
    其他團體作者: 清華大學化學系
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    出版年: 1993
    面頁冊數: 38頁 : 11x15公分;
    附註: NSC82-0404-E007-216
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