鐵電陶微感測元件之微細加工-rf濺鍍鈦酸鉛/鉑/氧化鎂/矽多層薄c 之微...
吳泰伯

 

  • 鐵電陶微感測元件之微細加工-rf濺鍍鈦酸鉛/鉑/氧化鎂/矽多層薄c 之微細加工=micro-machining of rf sputtered pbti03/pt?...
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    作者: 吳泰伯
    其他團體作者: 清華大學材料科學工程研究所
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    出版年: 1994
    面頁冊數: 46頁 : 11x15公分;
    附註: NSC83-0405-E007-002
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