複晶矽鍍膜在鹼土族氟化物,二氧化矽上晶粒成長研究=investigati...
清華大學材料科學工程研究所

 

  • 複晶矽鍍膜在鹼土族氟化物,二氧化矽上晶粒成長研究=investigation of grain growth of polycrystalline sillicon films on ...
  • 紀錄類型: 微縮資料 : 單行本
    作者: 甘炯耀
    其他團體作者: 清華大學材料科學工程研究所
    出版地: 台北市
    出版者: 科學技術資料中心;
    出版年: 1993
    面頁冊數: 69頁 : 11x15公分;
    附註: NSC82-0404-E007-211
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