Optical imaging in projection microl...
Wong, Alfred Kwok-Kit.

 

  • Optical imaging in projection microlithography /
  • 紀錄類型: 書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
    杜威分類號: 621.3815/31
    書名/作者: Optical imaging in projection microlithography // Alfred Kwok-Kit Wong.
    作者: Wong, Alfred Kwok-Kit.
    出版者: Bellingham, WA : : SPIE Press,, c2005.
    面頁冊數: xix, 254 p. : : ill. ;; 26 cm.
    標題: Microlithography.
    標題: Imaging systems.
    ISBN: 9780819458292 (pbk.) :
    書目註: Includes bibliographical references (p. 219-229) and index.
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