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Optical lithography :here is why /

~

Lin, Burn Jeng, (1942-)

Optical lithography :here is why /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
杜威分類號:	621.3815/31
書名/作者:	Optical lithography : : here is why // Burn J. Lin.
作者:	Lin, Burn Jeng,
出版者:	Bellingham, Wash. : : SPIE,, c2010.
面頁冊數:	xiv, 477 p. : : ill. ;; 26 cm.
標題:	Microlithography.
標題:	Semiconductors - Etching.
標題:	Lasers - Industrial applications.
ISBN:	9780819475602 (hbk.) :
ISBN:	0819475602 (hbk.)
書目註:	Includes bibliographical references and index.

Optical lithography :here is why /
Lin, Burn Jeng,1942-

Optical lithography :here is why /Burn J. Lin. - Bellingham, Wash. :SPIE,c2010. - xiv, 477 p. :ill. ;26 cm.

Includes bibliographical references and index.

ISBN: 9780819475602 (hbk.) :NTD 2,907

LCCN: 2009049350Subjects--Topical Terms:

597761
Microlithography.

LC Class. No.: TK7872.M3 / .L56 2010

Dewey Class. No.: 621.3815/31

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館藏

1 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

80048498

四樓西文圖書區

1.圖書流通

圖書(book)

621.38153 L735

1.一般(Normal)

在架

0

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