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0.1微米電子束曝光系統發展計畫-子計畫三:電子光學電鏡及高壓電 子鎗設計開發 ~ 羅國輝

 

• 0.1微米電子束曝光系統發展計畫-子計畫三:電子光學電鏡及高壓電 子鎗設計開發

• 紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
  其他作者:	羅國輝
  團體作者:	行政院同步輻射研究中心籌建處
  出版地:	台北市
  出版者:	科學技術資料中心;
  出版年:	1997
  面頁冊數:	38頁 : 11x15公分;
  附註:	NSC83-0510-P213-001

• 0.1微米電子束曝光系統發展計畫-子計畫三:電子光學電鏡及高壓電 子鎗設計開發
• 行政院同步輻射研究中心籌建處
  
  0.1微米電子束曝光系統發展計畫-子計畫三:電子光學電鏡及高壓電 子鎗設計開發 / 行政院同步輻射研究中心籌建處 ; 羅國輝 - 台北市 : 科學技術資料中心, 1997. - 38頁 ; 11x15公分.
  NSC83-0510-P213-001.
  
  羅國輝

• 0.1微米電子束曝光系統發展計畫-子計畫三:電子光學電鏡及高壓電 子鎗設計開發
• LDR:00417nhm 2200121 450 001 320811
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