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積體電路銅內連線電鍍程序之動態模擬

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吳邦豪

積體電路銅內連線電鍍程序之動態模擬

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	吳邦豪
其他團體作者:	清華大學化學工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	78頁 : 11x15公分;
標題:	化學工程 -
附註:	MOE88-0002-873612

積體電路銅內連線電鍍程序之動態模擬
吳邦豪

積體電路銅內連線電鍍程序之動態模擬 / 吳邦豪撰 ; 清華大學化學工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 78頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-873612.
化學工程

積體電路銅內連線電鍍程序之動態模擬
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833460000001145

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 460 2650-A

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