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以電漿輔助化學氣相沉積法製備之低應力碳化矽薄膜於微機電應用之研究
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林姿吟
以電漿輔助化學氣相沉積法製備之低應力碳化矽薄膜於微機電應用之研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
林姿吟
其他團體作者:
清華大學材料科學工程所
出版者:
行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:
1999
面頁冊數:
117頁 : 11x15公分;
標題:
工程材料 -
附註:
MOE88-0002-873543
以電漿輔助化學氣相沉積法製備之低應力碳化矽薄膜於微機電應用之研究
林姿吟
以電漿輔助化學氣相沉積法製備之低應力碳化矽薄膜於微機電應用之研究
/ 林姿吟 撰 ; 清華大學材料科學工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 117頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-873543.
工程材料
以電漿輔助化學氣相沉積法製備之低應力碳化矽薄膜於微機電應用之研究
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20030124
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限閱(視聽區)
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833440300000818
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微縮資料(microform)
MF 440.3 4436 V2
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