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置換活化法在ta/sio2/si基材上無電鍍銅膜之研究
~
清華大學材料科學工程所
置換活化法在ta/sio2/si基材上無電鍍銅膜之研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
陳旻賢
其他團體作者:
清華大學材料科學工程所
出版者:
行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:
1999
面頁冊數:
113頁 : 11x15公分;
標題:
工程材料 -
附註:
MOE88-0002-873539
置換活化法在ta/sio2/si基材上無電鍍銅膜之研究
陳旻賢
置換活化法在ta/sio2/si基材上無電鍍銅膜之研究
/ 陳旻賢 撰 ; 清華大學材料科學工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 113頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-873539.
工程材料
置換活化法在ta/sio2/si基材上無電鍍銅膜之研究
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20030124
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館藏
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1.一般(Normal)
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833440300000813
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