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利用相位調變式橢圓儀進行電漿蝕刻製程之即時監控與量測

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清華大學工程與系統科學所

利用相位調變式橢圓儀進行電漿蝕刻製程之即時監控與量測

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳旭賢
其他團體作者:	清華大學工程與系統科學所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	120頁 : 11x15公分;
標題:	工程與系統科學 -
附註:	MOE88-0002-873133

利用相位調變式橢圓儀進行電漿蝕刻製程之即時監控與量測
陳旭賢

利用相位調變式橢圓儀進行電漿蝕刻製程之即時監控與量測 / 陳旭賢撰 ; 清華大學工程與系統科學所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 120頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-873133.
工程與系統科學

利用相位調變式橢圓儀進行電漿蝕刻製程之即時監控與量測
LDR:00419nhm 2200133 450 001 306171
009 9128796
100 $a 20100608d1999 0chiy0900 e
101 $a chi
102 $a tw
200 1 $a 利用相位調變式橢圓儀進行電漿蝕刻製程之即時監控與量測 $f 陳旭賢撰 $g 清華大學工程與系統科學所
210 $c 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 $d 1999
215 $a 120頁 $d 11x15公分
300 $a MOE88-0002-873133
606 $a 工程與系統科學 $3 93547
700 $a 陳旭賢 $4 撰 $3 329564
712 $a 清華大學工程與系統科學所 $3 317510
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20030123

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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833440000001193

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440 7547-A V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

833440000001194

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440 7547-A V2

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