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以低壓化學氣相沈積法配合兩階段快速熱處理對閘極氮化矽電特性之影響

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林春桃

以低壓化學氣相沈積法配合兩階段快速熱處理對閘極氮化矽電特性之影響

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	林春桃
其他團體作者:	清華大學工程與系統科學所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	112頁 : 11x15公分;
標題:	工程與系統科學 -
附註:	MOE88-0002-873119

以低壓化學氣相沈積法配合兩階段快速熱處理對閘極氮化矽電特性之影響
林春桃

以低壓化學氣相沈積法配合兩階段快速熱處理對閘極氮化矽電特性之影響 / 林春桃撰 ; 清華大學工程與系統科學所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 112頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-873119.
工程與系統科學

以低壓化學氣相沈積法配合兩階段快速熱處理對閘極氮化矽電特性之影響
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210 $c 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 $d 1999
215 $a 112頁 $d 11x15公分
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833440000001184

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440 4454-A V1

1.一般(Normal)

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833440000001185

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440 4454-A V2

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