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高密度電漿製程對高介電常數閘介電層及金屬閘極之金氧半元件所引發損傷之可靠度分析
~
張壹淵
高密度電漿製程對高介電常數閘介電層及金屬閘極之金氧半元件所引發損傷之可靠度分析
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
張壹淵
其他團體作者:
清華大學工程與系統科學所
出版者:
行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:
1999
面頁冊數:
153頁 : 11x15公分;
標題:
工程與系統科學 -
附註:
MOE88-0002-873107
高密度電漿製程對高介電常數閘介電層及金屬閘極之金氧半元件所引發損傷之可靠度分析
張壹淵
高密度電漿製程對高介電常數閘介電層及金屬閘極之金氧半元件所引發損傷之可靠度分析
/ 張壹淵 撰 ; 清華大學工程與系統科學所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 153頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-873107.
工程與系統科學
高密度電漿製程對高介電常數閘介電層及金屬閘極之金氧半元件所引發損傷之可靠度分析
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20030123
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三樓視聽資料區
館藏
2 筆 • 頁數 1 •
1
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833440000001170
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3.不外借
微縮資料(microform)
MF 440 1143-A V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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833440000001171
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料(microform)
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