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表面前處理和高溫沈積法對鈷矽化物薄膜於矽晶上生長影響及在矽晶上矽化三銅之...

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清華大學材料科學工程所

表面前處理和高溫沈積法對鈷矽化物薄膜於矽晶上生長影響及在矽晶上矽化三銅之高溫氧化反應機制之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	黃新員
其他團體作者:	清華大學材料科學工程所
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	151頁 : 11x15公分;
標題:	工程材料 -
附註:	MOE88-0002-857501-D

表面前處理和高溫沈積法對鈷矽化物薄膜於矽晶上生長影響及在矽晶上矽化三銅之高溫氧化反應機制之研究
黃新員

表面前處理和高溫沈積法對鈷矽化物薄膜於矽晶上生長影響及在矽晶上矽化三銅之高溫氧化反應機制之研究 / 黃新員撰 ; 清華大學材料科學工程所 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 151頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-857501-D.
工程材料

表面前處理和高溫沈積法對鈷矽化物薄膜於矽晶上生長影響及在矽晶上矽化三銅之高溫氧化反應機制之研究
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
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典藏地名稱

館藏流通類別

833440300000766

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440.3 4406 V1

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833440300000767

三樓視聽資料區

3.不外借

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MF 440.3 4406 V2

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