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鋁銅／氮化鈦／鈦導線結構上鋁銅膜之織構、突起及電遷移之研究

~

清華大學材料科學工程所

鋁銅／氮化鈦／鈦導線結構上鋁銅膜之織構、突起及電遷移之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	王麗萍
其他團體作者:	清華大學材料科學工程所
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	136頁 : 11x15公分;
標題:	工程材料 -
附註:	MOE88-0002-797504-D

鋁銅／氮化鈦／鈦導線結構上鋁銅膜之織構、突起及電遷移之研究
王麗萍

鋁銅／氮化鈦／鈦導線結構上鋁銅膜之織構、突起及電遷移之研究 / 王麗萍撰 ; 清華大學材料科學工程所 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 136頁 ; 11x15公分.
MOE88-0002-797504-D.
工程材料

鋁銅／氮化鈦／鈦導線結構上鋁銅膜之織構、突起及電遷移之研究
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
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典藏地名稱

館藏流通類別

833440300000729

三樓視聽資料區

3.不外借

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MF 440.3 1014 V1

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833440300000730

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3.不外借

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MF 440.3 1014 V2

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