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深紫外光正型化學倍增式光阻劑之合成與性質研究(Ⅰ)

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國立清華大學化學工程研究所

深紫外光正型化學倍增式光阻劑之合成與性質研究(Ⅰ)

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	李育德
其他團體作者:	國立清華大學化學工程研究所
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	57頁 : 11x15公分;
標題:	化學工程 -
附註:	NSC86-2216-E007-001

深紫外光正型化學倍增式光阻劑之合成與性質研究(Ⅰ)
李育德

深紫外光正型化學倍增式光阻劑之合成與性質研究(Ⅰ) / 李育德撰 ; 國立清華大學化學工程研究所 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 57頁 ; 11x15公分.
NSC86-2216-E007-001.
化學工程

深紫外光正型化學倍增式光阻劑之合成與性質研究(Ⅰ)
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210 $a 台北市 $c 行政院國家科學委員會科學技術資料中心
215 $a 57頁 $d 11x15公分
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801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20020327

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館藏

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1

典藏地名稱

館藏流通類別

804460000001852

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 460 4002-2

1.一般(Normal)

在架

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