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應用於ulsi之「金屬化鋁層/鈦化合物阻礙層/矽」系統高溫濺鍍的界面反應行為

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逢甲大學材料學學系

應用於ulsi之「金屬化鋁層/鈦化合物阻礙層/矽」系統高溫濺鍍的界面反應行為

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳錦山
其他團體作者:	逢甲大學材料學學系
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	7頁 : 11x15公分;
標題:	工程材料 -
附註:	NSC86-2215-E035-003

應用於ulsi之「金屬化鋁層/鈦化合物阻礙層/矽」系統高溫濺鍍的界面反應行為
陳錦山

應用於ulsi之「金屬化鋁層/鈦化合物阻礙層/矽」系統高溫濺鍍的界面反應行為 / 陳錦山撰 ; 逢甲大學材料學學系 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 7頁 ; 11x15公分.
NSC86-2215-E035-003.
工程材料

應用於ulsi之「金屬化鋁層/鈦化合物阻礙層/矽」系統高溫濺鍍的界面反應行為
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804440300000822

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440.3 7581

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