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利用鈷矽化物墊層作為硼擴散源以形成p+一型的複晶化矽-矽人物閘極之研究

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台灣科技大學電子工程系

利用鈷矽化物墊層作為硼擴散源以形成p+一型的複晶化矽-矽人物閘極之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	莊敏宏
其他團體作者:	台灣科技大學電子工程系
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	61頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	NSC86-2621-E011-007-T

利用鈷矽化物墊層作為硼擴散源以形成p+一型的複晶化矽-矽人物閘極之研究
莊敏宏

利用鈷矽化物墊層作為硼擴散源以形成p+一型的複晶化矽-矽人物閘極之研究 / 莊敏宏撰 ; 台灣科技大學電子工程系 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 61頁 ; 11x15公分.
NSC86-2621-E011-007-T.
電子工程

利用鈷矽化物墊層作為硼擴散源以形成p+一型的複晶化矽-矽人物閘極之研究
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215 $a 61頁 $d 11x15公分
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804621381000425

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 621.381 4483-A

1.一般(Normal)

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