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以深蝕光刻術製造聚焦還-子計畫三:深時光刻術之聚焦環製程Ⅰ

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程曜

以深蝕光刻術製造聚焦還-子計畫三:深時光刻術之聚焦環製程Ⅰ

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	程曜
其他團體作者:	行政院同步輻射研究中心籌建處
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	67頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	NSC85-2215-E213-001A

以深蝕光刻術製造聚焦還-子計畫三:深時光刻術之聚焦環製程Ⅰ
程曜

以深蝕光刻術製造聚焦還-子計畫三:深時光刻術之聚焦環製程Ⅰ / 程曜撰 ; 行政院同步輻射研究中心籌建處 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 67頁 ; 11x15公分.
NSC85-2215-E213-001A.
電子工程

以深蝕光刻術製造聚焦還-子計畫三:深時光刻術之聚焦環製程Ⅰ
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215 $a 67頁 $d 11x15公分
300 $a NSC85-2215-E213-001A
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700 $a 程曜 $4 撰 $3 79336
712 $a 行政院同步輻射研究中心籌建處 $3 63124
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20020219

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804448600000654

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448.6 2667

1.一般(Normal)

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