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半導體製程設備步進器定位機構研發-子計畫三:步進器定位機構精密位置量測級...

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國立台灣大學電機工程學系暨研究

半導體製程設備步進器定位機構研發-子計畫三:步進器定位機構精密位置量測級系統整合(1/3)

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳永耀
其他團體作者:	國立台灣大學電機工程學系暨研究
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	82頁 : 11x15公分;
標題:	電機工程 -
附註:	NSC85-2213-E002-043

半導體製程設備步進器定位機構研發-子計畫三:步進器定位機構精密位置量測級系統整合(1/3)
陳永耀

半導體製程設備步進器定位機構研發-子計畫三:步進器定位機構精密位置量測級系統整合(1/3) / 陳永耀撰 ; 國立台灣大學電機工程學系暨研究 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 82頁 ; 11x15公分.
NSC85-2213-E002-043.
電機工程

半導體製程設備步進器定位機構研發-子計畫三:步進器定位機構精密位置量測級系統整合(1/3)
LDR:00469nhm 2200133 450 001 301786
009 9105926
100 $a 20100608 0chiy0900 e
101 $a chi
102 $a tw
200 1 $a 半導體製程設備步進器定位機構研發-子計畫三:步進器定位機構精密位置量測級系統整合(1/3) $f 陳永耀撰 $g 國立台灣大學電機工程學系暨研究
210 $a 台北市 $c 行政院國家科學委員會科學技術資料中心
215 $a 82頁 $d 11x15公分
300 $a NSC85-2213-E002-043
606 $a 電機工程 $3 9918
700 $a 陳永耀 $4 撰 $3 60282
712 $a 國立台灣大學電機工程學系暨研究 $3 325906
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20020219

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804448000001461

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 448 7539-1

1.一般(Normal)

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