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半導體製程自動化中以分散式控制骨幹為基礎之單元控制器的設計與製作
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國立台灣科技大學電機工程學系
半導體製程自動化中以分散式控制骨幹為基礎之單元控制器的設計與製作
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
鐘聖倫
其他團體作者:
國立台灣科技大學電機工程學系
出版地:
台北市
出版者:
行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:
84頁 : 11x15公分;
標題:
電機工程 -
附註:
NSC85-2213-E011-033
半導體製程自動化中以分散式控制骨幹為基礎之單元控制器的設計與製作
鐘聖倫
半導體製程自動化中以分散式控制骨幹為基礎之單元控制器的設計與製作
/ 鐘聖倫 撰 ; 國立台灣科技大學電機工程學系 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 84頁 ; 11x15公分.
NSC85-2213-E011-033.
電機工程
半導體製程自動化中以分散式控制骨幹為基礎之單元控制器的設計與製作
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20020206
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三樓視聽資料區
館藏
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1
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典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
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借閱狀態
預約狀態
備註欄
附件
804448000001414
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3.不外借
微縮資料(microform)
MF 448 8212-2
1.一般(Normal)
在架
0
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