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微電子工業電漿製程之理論與計算模擬

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楊照彥

微電子工業電漿製程之理論與計算模擬

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	楊照彥
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	48頁 : 11x15公分;
標題:	機械工程 -
附註:	NSC85-2212-E002-043

微電子工業電漿製程之理論與計算模擬
楊照彥

微電子工業電漿製程之理論與計算模擬 / 楊照彥撰 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 48頁 ; 11x15公分.
NSC85-2212-E002-043.
機械工程

微電子工業電漿製程之理論與計算模擬
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215 $a 48頁 $d 11x15公分
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801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20020206

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804621000000371

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 621 4660

1.一般(Normal)

在架

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