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同步輻射x光光刻術發展之可行性評估-子計畫五同步輻射x光光刻解析能力與層...

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行政院同步輻射研究中心籌建處

同步輻射x光光刻術發展之可行性評估-子計畫五同步輻射x光光刻解析能力與層疊對準度極限之理論研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	許鉦宗
其他團體作者:	行政院同步輻射研究中心籌建處
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	22頁 : 11x15公分;
標題:	輻射能 -
附註:	NSC85-2745-P213-002

同步輻射x光光刻術發展之可行性評估-子計畫五同步輻射x光光刻解析能力與層疊對準度極限之理論研究
許鉦宗

同步輻射x光光刻術發展之可行性評估-子計畫五同步輻射x光光刻解析能力與層疊對準度極限之理論研究 / 許鉦宗撰 ; 行政院同步輻射研究中心籌建處 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 22頁 ; 11x15公分.
NSC85-2745-P213-002.
輻射能

同步輻射x光光刻術發展之可行性評估-子計畫五同步輻射x光光刻解析能力與層疊對準度極限之理論研究
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102 $a tw
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700 $a 許鉦宗 $4 撰 $3 326387
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801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20020205

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804539200000001

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 539.2 0883

1.一般(Normal)

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