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同步輻射x光光刻術發展之可行性評估-子計畫一同步輻射x光光刻術光束曝光測...

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行政院同步輻射研究中心籌建處

同步輻射x光光刻術發展之可行性評估-子計畫一同步輻射x光光刻術光束曝光測試設施研發

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳俊榮
其他團體作者:	行政院同步輻射研究中心籌建處
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	71頁 : 11x15公分;
標題:	輻射能 -
附註:	NSC85-2745-P213-001

同步輻射x光光刻術發展之可行性評估-子計畫一同步輻射x光光刻術光束曝光測試設施研發
陳俊榮

同步輻射x光光刻術發展之可行性評估-子計畫一同步輻射x光光刻術光束曝光測試設施研發 / 陳俊榮撰 ; 行政院同步輻射研究中心籌建處 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 71頁 ; 11x15公分.
NSC85-2745-P213-001.
輻射能

同步輻射x光光刻術發展之可行性評估-子計畫一同步輻射x光光刻術光束曝光測試設施研發
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102 $a tw
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712 $a 行政院同步輻射研究中心籌建處 $3 63124
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20020205

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館藏流通類別

804333600000002

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3.不外借

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MF 333.6 7529

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