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半導體設備平台研究-子計畫一:長距離精準定位與控制

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國立台灣大學機械工程學系研究所

半導體設備平台研究-子計畫一:長距離精準定位與控制

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	李世光
其他團體作者:	國立台灣大學機械工程學系研究所
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	80頁 : 11x15公分;
標題:	機械工程 -
附註:	NSC85-2221-E002-053

半導體設備平台研究-子計畫一:長距離精準定位與控制
李世光

半導體設備平台研究-子計畫一:長距離精準定位與控制 / 李世光撰 ; 國立台灣大學機械工程學系研究所 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 80頁 ; 11x15公分.
NSC85-2221-E002-053.
機械工程

半導體設備平台研究-子計畫一:長距離精準定位與控制
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210 $a 台北市 $c 行政院國家科學委員會科學技術資料中心
215 $a 80頁 $d 11x15公分
300 $a NSC85-2221-E002-053
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700 $a 李世光 $4 撰 $3 79418
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804446000002117

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 446 4059

1.一般(Normal)

在架

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