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半導體設備平台研究-總計畫

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國立台灣大學機械工程學系暨研究

半導體設備平台研究-總計畫

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	范光照
其他團體作者:	國立台灣大學機械工程學系暨研究
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	27頁 : 11x15公分;
標題:	機械工程 -
附註:	NSC85-2221-E002-051

半導體設備平台研究-總計畫
范光照

半導體設備平台研究-總計畫 / 范光照撰 ; 國立台灣大學機械工程學系暨研究 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 27頁 ; 11x15公分.
NSC85-2221-E002-051.
機械工程

半導體設備平台研究-總計畫
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200 1 $a 半導體設備平台研究-總計畫 $f 范光照撰 $g 國立台灣大學機械工程學系暨研究
210 $a 台北市 $c 行政院國家科學委員會科學技術資料中心
215 $a 27頁 $d 11x15公分
300 $a NSC85-2221-E002-051
606 $a 機械工程 $3 15001
700 $a 范光照 $4 撰 $3 51690
712 $a 國立台灣大學機械工程學系暨研究 $3 326144
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20020204

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804446000002115

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 446 4496-1

1.一般(Normal)

在架

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