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半導體製造生產計畫研發-子計畫三:即時製程控制與診斷專家系統

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國立清華大學工業工程學研究所

半導體製造生產計畫研發-子計畫三:即時製程控制與診斷專家系統

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳飛隆
其他團體作者:	國立清華大學工業工程學研究所
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	121頁 : 11x15公分;
標題:	工業工程 -
附註:	NSC85-2221-E007-047

半導體製造生產計畫研發-子計畫三:即時製程控制與診斷專家系統
陳飛隆

半導體製造生產計畫研發-子計畫三:即時製程控制與診斷專家系統 / 陳飛隆撰 ; 國立清華大學工業工程學研究所 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 121頁 ; 11x15公分.
NSC85-2221-E007-047.
工業工程

半導體製造生產計畫研發-子計畫三:即時製程控制與診斷專家系統
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210 $a 台北市 $c 行政院國家科學委員會科學技術資料中心
215 $a 121頁 $d 11x15公分
300 $a NSC85-2221-E007-047
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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804440000000452

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440 7510

1.一般(Normal)

在架

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