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銅薄膜MOCVD製程之數值模擬研究

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柳逸斌

銅薄膜MOCVD製程之數值模擬研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	柳逸斌
其他團體作者:	義守大學材料科學與工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	97頁 : 11x15公分;
標題:	工程材料 -
附註:	MOE88-1112-874021M

銅薄膜MOCVD製程之數值模擬研究
柳逸斌

銅薄膜MOCVD製程之數值模擬研究 / 柳逸斌撰 ; 義守大學材料科學與工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 97頁 ; 11x15公分.
MOE88-1112-874021M.
工程材料

銅薄膜MOCVD製程之數值模擬研究
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833440300001139

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料(microform)

MF 440.3 4730 V1

1.一般(Normal)

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833440300001140

三樓視聽資料區

3.不外借

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MF 440.3 4730 V2

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